獨(dú)立雙傳感器，將傳感器的性能發(fā)揮至極致
基于獨(dú)立雙傳感器的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，通過(guò)精確協(xié)同與優(yōu)化配置，確保每個(gè)傳感器都能在專屬領(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮出獨(dú)一無(wú)二的優(yōu)勢(shì)，促進(jìn)了傳感器之間的互補(bǔ)性，給用戶帶來(lái)最優(yōu)質(zhì)的使用體驗(yàn)。
傳感器切換方便，巧妙的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得輪廓傳感器與粗糙度傳感器在互換時(shí)更加省時(shí)省力。
| 型號(hào) | FDR | |
| 測(cè)量范圍 | X軸 | 120-220mm |
| X軸分辨率 | 1.2nm | |
| Z軸 | 420、620mm可選 | |
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm可選 |
| Z1分辨率 | 1.2nm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
| 圓弧 | 士(1+R/12)μm | |
| 圓弧Pt | ≤0.3μm | |
| 角度 | ±1′ | |
| 直線度 | 0.3um/100mm(截止波長(zhǎng)0.8) | |
| 測(cè)量速度 | 2mm/s | |
| 粗糙度傳感器 | 量程 | ±620μm |
| 分辨率 | 262144:1 | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(5nm +2.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤1nm | |
| 截止波長(zhǎng) | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評(píng)定長(zhǎng)度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
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