ITC設(shè)備采用全新的智能跟蹤測量法，通過先進(jìn)的雙軸聯(lián)動運動控制算法和零滯后的精密運動軸對被測件表面輪廓進(jìn)行智能實時跟蹤仿形，掃描被測件的二維輪廓點云，再通過專用的軟件算法，對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，實現(xiàn)測量功能。
先進(jìn)的理念，科學(xué)的方法，使設(shè)備具有極高的精度，在測量穩(wěn)定性、測量速度和量程方面同樣具有其他設(shè)備不可比擬的優(yōu)勢！
智能實時跟蹤測量儀ITC系列
產(chǎn)品參數(shù)PRODUCT PARAMETERS
| 型號 | ITC1000 | ITC3000 | ITC5000 | ||||||||
| 11 | 12 | 12 | 13 | 14 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | ||
| 導(dǎo)軌單元 | |||||||||||
| 導(dǎo)軌結(jié)構(gòu) | 混合式 | 混合式 | 混合式 | 混合式 | |||||||
| 測量范圍 | X軸 | ≥185mm | ≥225mm | ≥225mm | ≥265mm | ≥325mm | ≥325mm | ≥365mm | ≥425mm | ≥525mm | ≥625mm |
| Z軸 | ≥185mm | ≥225mm | ≥225mm | ≥265mm | ≥325mm | ≥325mm | ≥365mm | ≥425mm | ≥425mm | ≥425mm | |
| 直線度 | X軸 | ≤0.55μm/100mm | ≤0.45μm/100mm | ≤0.25μm/100mm | ≤0.7μm/100mm | ||||||
| Z軸 | ≤0.6μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.3μm/100mm | ≤0.3μm/100mm | |||||||
| 導(dǎo)軌殘值噪聲 | X軸 | Ra≤0.025μm | Ra≤0.012μm | Ra≤0.006μm | Ra≤0.012μm | ||||||
| Z軸 | Ra≤0.025μm | Ra≤0.015μm | Ra≤0.01μm | Ra≤0.01μm | |||||||
| 傳感器單元 | |||||||||||
| 分辨率 | X軸 | 0.02μm | 0.01μm | 0.001μm | 0.001μm | ||||||
| Z軸 | 0.02μm | 0.01μm | 0.001μm | 0.001μm | |||||||
| Z軸測量系統(tǒng) | 雙反饋 | 雙反饋 | 雙反饋 | 雙反饋 | |||||||
| 輪廓測量精度 | |||||||||||
| 距離測量 | X軸 | ±(1.5+L/100)μm | ±(0.8+L/100)μm | ±(0.6+0.9L/100)μm | ±(1.2+L/100)μm | ||||||
| Z軸 | ±(1.5+H/100)μm | ±(0.8+H/100)μm | ±(0.6+0.9H/100)μm | ±(0.6+0.9H/100)μm | |||||||
| 圓弧測量 | ±(1.2+R/15)μm | ±(0.8+R/15)μm | ±(0.8+R/12)μm | ±(1.5+R/10)μm | |||||||
| 形貌測量精度 | |||||||||||
| 圓弧Pt | ≤0.8μm | ≤0.5μm | ≤0.3μm | ≤0.6μm | |||||||
| 直線Pt | ≤0.8μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.6μm/100mm | |||||||
| 運動控制 | |||||||||||
| 測量方向 | T | 雙向 | 雙向 | 雙向 | 雙向 | ||||||
| L | 單向 | 單向 | 單向 | 單向 | |||||||
| 自動接觸 | T | 雙向自動接觸 | 雙向自動接觸 | 雙向自動接觸 | 雙向自動接觸 | ||||||
| L | 單向自動接觸 | 單向自動接觸 | 單向自動接觸 | 單向自動接觸 | |||||||
| 測量速度 | 0.2mm/s~0.７mm/s | 0.2mm/s~0.７mm/s | 0.2mm/s~3mm/s | 0.2mm/s~3mm/s | |||||||
| 移動速度 | 5~10mm/s | 5~10mm/s | 5~30mm/s | 5~30mm/s | |||||||
| X軸末端控制 | 自鎖 | 自鎖 | 自鎖 | 自鎖 | |||||||
